Tescan MIRA3 XMU
Prof. Dr. Dirk Biermann
Werkstoffprüftechnik
Fakultät Maschinenbau
Zeiss XB550L FIB-REM
Dr.-Ing. Marina Macias Barrientos
Werkstoffprüftechnik
Fakultät Maschinenbau
JEOL JSM 7001F
Dipl.-Ing. Lydia Reisch-Lang
Werkstofftechnologie
Fakultät Maschinenbau
Visitec MIRA XI Großkammer-REM
Prof. Dr. Erman Tekkaya
Umformtechnik und Leichtbau
Fakultät Maschinenbau
Raith Pioneer Elektronenstrahl-Lithographie
Prof. Dr. Stefan Tappertzhofen
Mikro- und Nanoelektronik
Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik
Zeiss-LEO 982 Elektronenstrahl-Lithographie
Prof. Dr. Stefan Tappertzhofen
Mikro- und Nanoelektronik
Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik
JEOL JSM-IT800 Elektronenstrahl-Lithographie
Prof. Dr. Christoph Lange
THz-Spektroskopie
Fakultät Physik