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Fakultät Bio- und Chemieingenieurwesen

Tescan MIRA3 XMU 

Prof. Dr. Dirk Biermann
Werkstoffprüftechnik
Fakultät Maschinenbau 

Zeiss XB550L FIB-REM

Dr.-Ing. Marina Macias Barrientos
Werkstoffprüftechnik
Fakultät Maschinenbau

JEOL JSM 7001F

Dipl.-Ing. Lydia Reisch-Lang
Werkstofftechnologie
Fakultät Maschinenbau

Visitec MIRA XI Großkammer-REM

Prof. Dr. Erman Tekkaya
Umformtechnik und Leichtbau
Fakultät Maschinenbau

Raith Pioneer Elektronenstrahl-Lithographie

Prof. Dr. Stefan Tappertzhofen
Mikro- und Nanoelektronik
Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik

Zeiss-LEO 982 Elektronenstrahl-Lithographie

Prof. Dr. Stefan Tappertzhofen
Mikro- und Nanoelektronik
Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik

JEOL JSM-IT800 Elektronenstrahl-Lithographie

Prof. Dr. Christoph Lange
THz-Spektroskopie
Fakultät Physik