Das Hitachi H-S4500 FEG ist ein Rasterelektronenmikroskop, dass Probenoberflächen abbildet indem es diese mit einem fein fokussierten Elektronenstrahl abrastert und Sekundär- oder  Rückstreu-Elektronen zur Abbildung nutzt. Zusätzlich verfügt es über eine energiedispersive Röntgenanalyse (EDX), die es erlaubt die elementare Zusammensetzung der Probe quantitativ zu analysieren. Die Besonderheit des H-S4500 FEG ist der Inlense-Detektor, der es in Verbindung mit einer geringen Beschleunigungsspannung erlaubt auch elektrisch nicht-leitfähige Proben zu untersuchen.

Spezifikationen

SE resolutuion: 1nm bei 15kV, 4nm bei 1kV
EDX resolution: 136eV/5,9keV